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現像コントローラー

アクアシステムコントローラー
ASC14000・13000(現像・剥離用)

基盤一枚に応じた薬液供給で、従来より薬品コスト30%削減。

現像・剥離用コントローラーは炭酸ソーダから苛性ソーダ、カリ系のアルカリ剤、メタケイ酸系のアルカリ剤、有機アミン系のアルカリ剤(TMAH、MEKなど)に使用されています。

薬品種は業界や会社の製品により選択し、適正濃度を決めていきます。

使用方法も手動バッチから自動オーバーフローまで様々です。

薬液も使い捨てから、ライフ延命再生、循環リサイクルまで様々です。

レジンの種類もホトレジスト系のDFR、液レジ、ソルダー系、電着系、カゼインまで様々です。

お客様のプロセス内容に合わせたシステムを作り上げていきます。

プリント基板、液晶、PDPのDF法では特にお勧めです。

用途

半導体、PDP、シャドウマスク、アロイ系、アンバー材、銅合金、ニッケル合金、SUS系、鉄系、カーボン鋼系、スズ系、真鍮系からアルミニウムまでの現像プロセスで使用されています。

印刷から電子部品を作る行程の現像剥離マシンに付加して使用され、現像剥離アルカリ液の濃度管理に最適です。

効力

リアルタイムにダイレクトセンシングを可能とし、長期安定的に薬液濃度を管理することができ、生産安全性を実現します。

特に高機能品やファインパターン基板の生産に対し、高精度な薬液の濃度管理が出来ます。

効果

現像薬液組成の新液アルカリ濃度、本槽アルカリ濃度、レジスト濃度を個別にリアルタイムで高精度に管理することにより高品質と生産安定を達成し、低コストで効率よく高機能品を作ることが出来ます。

メリット

細線部分の仕上がり寸法の安定化

面内バラツキの低減

エッチングスピードの安定化

ファインパターン対応能力の向上

歩留まりの改善

生産性の向上

ブレークポイントの安定


※ 特に薬液量を多くお使いの方は薬品再生で大きくメリットが有る場合がありますので諦めず、お気軽にご相談ください。

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お問い合わせ・資料請求

お電話の場合は、下記にお問い合わせください。
日本アクア株式会社
TEL:072-726-6665 平日 9:00~18:00

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