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アクアロボ

ARBシリーズ

自動適定分析器

めっき液、現像液、硫酸化水などの薬液を
簡単・高精度に分析!

正確な濃度分析により、安定した薬品管理。コンパクトでどこにでも設置可能。試薬量・廃液量ともに従来よりも少量で済み、低コストで環境にもやさしいのが特徴です。

  • 生産性
    UP
  • 生産安定性
    UP
  • コスト削減
  • 各種薬液
    対応可能

※各種薬液に対応可能です。お問い合わせください。

製品特長

  • 試薬量を約1/3、廃液量を約1/2までカット

    コンパクトだから従来よりも少量の試薬で分析が可能に。また、分析時間も短縮され、簡単でよりスピーディにかつ、従来型に引けを取らない正確な適定分析を実現します。

  • 簡単・コンパクト・どこにでも設置可能
    1. 装置側にチューブを通すだけで簡単に測定が可能です。
    2. サイズがコンパクトだからレイアウトに困りません。
    3. 内部がすぐに確認でき、メンテナンスも簡単です。
    設置イメージ
  • 操作画面で測定結果を確認、状態把握が容易に

    各装置側からのカウンター信号・各種補給信号・アラーム信号を配線すれば、各分析結果・エラー履歴等がひと目で分かります。また、装置側との各警報・薬液供給信号を入力することで分析結果のフィードバック補給等も可能となります。

    分析結果のグラフ
    ※24回分の分析結果をプロット

製品仕様

測定仕様
  種別 工程名・装置名 測定項目
1 めっき関連 硫酸銅電解めっき H2SO4(硫酸)/Cu(銅)/Cl(塩素)/Fe3+(3価鉄)
2 無電解銅めっき NaOH(水酸化ナトリウム)/HCHO(ホルマリン)/Cu(銅)
3 無電解ニッケルめっき Ni(ニッケル)/NaH2PO2(次亜リン酸ナトリウム)/pH
4 電解ニッケルめっき Ni(硫酸・塩化ニッケル)/Cl(塩素)/H3BO3(ホウ酸)
5 無電解金めっき Au(金)/pH
6 電解金めっき① Au(金)/pH
7 電解金めっき② Au(金)/Ni(ニッケル)/Pd(パラジウム)
8 電解金めっき③ Au(金)/Ni(ニッケル)/Pd(パラジウム)/Co(コバルト)
9 銀めっき Ag(銀)/CN(シアン)/pH
10 シアンめっき CN(シアン)/酸量(酸)
11 ソフトエッチング/
ハーフエッチング
ソフトエッチング① Cu(銅)/H2SO4(硫酸)/H2O2(過酸化水素)
12 ソフトエッチング② Cu(銅)/Na2S2O8(過硫酸ナトリウム)
13 ソフトエッチング③ Cu(銅)/H8N2O8S2(過硫アンモニウム)
14 現像各種 現像① Na2CO3(炭酸ナトリウム)/K2CO3(炭酸カリウム)/レジスト量(レジスト)
15 現像② TMAH(水酸化テトラメチルアンモニウム)/レジスト量(レジスト)
16 現像③ MEK(メチルエチルケトン)/TEA(トリエタノールアミン)/レジスト量(レジスト)
17 黒化 黒化処理 NaOH(水酸化ナトリウム)/NaClO2(亜塩素酸ナトリウム)/K2S2O8(過硫酸カリウム)
18 デスミア デスミア処理 NaOH(水酸化ナトリウム)/KMnO4(過マンガン酸カリウム)
19 脱脂・剥離 脱脂処理・剥離処理 NaOH(水酸化ナトリウム)/KOH(水酸化カリウム)
20 酸洗 酸洗各種 HCl(塩酸)/H2SO4(硫酸)/HNO3(硝酸)/CH3COOH(酢酸) 等
21 その他
(洗浄/特殊エッチング 等)
NaOH+H2O2 NaOH(水酸化ナトリウム)/H2O2(過酸化水素)
NaCO3+H2O2 NaCO3(炭酸ナトリウム)/H2O2(過酸化水素)
アルミ エッチング① Al(アルミニウム)/HCl(塩酸)
アルミ エッチング② Al(アルミニウム)/H2SO4(硫酸)
ウェハー洗浄 等 NH4(アンモニウム)/HF2(フッ酸)/H2O2(過酸化水素)/HNO3(硝酸)

※上記以外の他薬液にも対応可能

機器仕様
名称アクアロボ 型式ARBシリーズ 外形寸法(mm)300(W)×405(H)×200(D)
重量6kg 電源AC100V 用途各種薬液の自動適定分析
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