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M-SAP対応 アクアアクセスコントローラー

現像用ASC-14000、剥離用ASC-13000

薬液自動制御装置
Na2CO3/K2CO3/TMAH/NaOH/KOH
  • 現 像
  • 剥離/剥膜
  • ソルダー現像

高精度な現像液管理により
高微細基板が製造可能に

高細線化には現像工程が最重要です。アクアアクセスコントローラーなら、FILM濃度±0.5g/Lの安定した現像液管理を実現。高微細基板を製造可能にします。

  • 生産性
    UP
  • 生産安定性
    UP
  • 品質安定性
    UP
  • リアルタイム
    表示

製品特長

  • ファインパターンに対応

    高精度薬液制御無しにファインパターンは実現できません。アクアアクセスコントローラーを使えばFILM濃度±0.5g/Lの管理が可能に。現像仕上がりが綺麗だから、細線エッチングも良好にできます。

    • 現像後イメージ
      現像後
    • エッチング後イメージ
      エッチング後
  • 生産状況をいつでも確認

    ロガー機能で生産時の変化や安定性をすぐに確認し、迅速に生産現場にフィードバックでき、製造責任者も安心です。

    ここが独自の特長
    各種センサー
    高精度・高安定
    小型・軽量
    ダイレクト&リアルタイム測定
    製品イメージ
  • 測定フロー・現像/剥離液によるメリット
    工程フロー図
    現像仕上がり幅 バラツキ(σ)

    リアルタイム高制御により、現像の仕上がりが大幅に安定します。

    現像無管理とアクアのバラツキ比較図

製品仕様

対応薬液 Na2CO3/K2CO3/TMAH/NaOH/KOH
型式 現像用 ASC-14000 剥離用 ASC-13000
濃度仕様 Na2CO3/K2CO3/TMAH 等 NaOH/KOH/TMAH 等
表示装置 12インチLCD表示 12インチLCD表示
電源電圧 DC24V DC24V
外形寸法(mm)・重量 328(W)×225(H)×160(D) 8kg 328(W)×225(H)×160(D) 8kg

※上記以外の他薬液にも対応可能

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