蚀刻控制器

NAC-7000 / 9000 / 10000 series

• 蚀刻

M-SAP对应 药液自动控制装置

显影用NAC14000 / 剥离用NAC13000

• 显影
• 剥离/剥膜
• 防焊显影

M-SAP对应 硫酸双氧水用自动控制装置

AQC series

• 电镀
• 半蚀，表面微蚀，贴合前处理等
• 黑化处理替代 棕化处理
• 最终处理

自动滴定分析器

ARB series

水洗用水洗净装置

AGS series

• 水洗，酸洗

能量分散型荧光X射线分析装置

AQUA-X series