产品信息 PRODUCTS

AQUA AQCESS CONTROLLER

NAC-7000 / 9000 / 10000 series

蚀刻控制器
CuCl2(H2O2)/FeCl3/CuCl2(NaClO3)
  • 蚀 刻

使质量、生产性稳定,
将浓度控制在适当的范围

由自己公司独门高精密传感器与高性能控制器,对蚀刻制程的生产性、质量、成本进行适当的控制,具备压倒性优异的能力。

  • 生产性
    UP
  • 生产安定性
    UP
  • 质量安定性
    UP
  • 实时显示
产品图像

产品功能

  • 对应细线路

    高精度的药液控制在细线路上是不可或缺的。 使用AQUA AQCESS 控制器能够对HCl进行±0.05M/L的高度控制。

    • 显影后图像
      显影后
    • 蚀刻后图像
      蚀刻后
  • 随时确认生产状况

    使用AQUA Logger功能立即确认生产时的变化与稳定性,能迅速回报至产线,让现场负责人安心。

    此处为独特的特长
    各种传感器
    高精密、高稳定
    小型、轻量
    直观&实时测定
    产品图像
  • 产线稼动率UP

    由高精密传感器与控制器,能够维持稳定的药液状态可大幅缩短蚀刻装置取得生产条件的时间。此外,排除传感器不良等造成之药液浓度异常,使生产状态稳定。

    约1个月(25天)
    处理量m2之比较
    产线稼动率提升30%
  • 产品线宽的成形稳定

    线宽误差大幅改善,降低不良

    线宽误差大幅改善,降低不良
    显影成形宽幅误差(σ)

    蚀刻后线宽的偏差比较

    蚀刻后线宽的偏差比较
  • 降低药液使用量

    由药液浓度稳定化,降低药液使用量

    比较
    使用AQUA控制器
    可提高稳定度。
    5,000m2(平均铜厚35um 双面板)处理之
    药液使用量比较
    线宽误差改善为约20%
  • 连接流程图

    药液浓度各别的实时测量。能综合生产条件、量、稼动状况 进行参数控制。具备LAN通讯功能,可用工作网把控制数据传输到PC进行监控。此外,具备传感器追加等扩充功能。

    连接流程图

产品规格

对应药业 CuCl2(H2O2)/FeCl3/CuCl2(NaClO3)
型式 NAC-7100/7200/7110 NAC-9100/9200/9110 NAC11000/12000/11100
显示设备 10英寸LCD显示 10英寸LCD显示 12英寸LCD显示
显示范围 SG 1.100-1.400/1.500/
1.200-1.600
1.100-1.400/1.500/
1.200-1.600
1.100-1.400/1.500/
1.200-1.600
HCl 0.00-6.00m/L 0.00-6.00m/L 0.000-6.000m/L
H2O2
FeCl3
NaClO3
0.00-100.0 0.00-100.0 0.00-100.00
TEMP 0.00-100.0 0.00-100.0 0.00-100.00
测定精度 测定范围3%以内
控制輸出 泵浦控制输出、上下限警报输出、无电压接点中继输出、TTL输出等
电源电压 DC 24V
外形尺寸(mm)、重量 310(W)×210(H)×99(D) 4.3kg 328(W)×225(H)×99(D) 4.3kg
P控制 ○(标准规格) ○(标准规格) ○(标准规格)
药品预测投入 △(选配追加) ○(标准规格) ○(标准规格)
参数库 △(选配追加) ○(标准规格) ○(标准规格)
图表功能 ○(标准规格) ○(标准规格) ○(标准规格)
Logger 通讯功能 × × ○(标准规格)
其他通讯功能
(RS通讯/UDP通讯)
× △(选配追加) △(选配追加)
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