AQUA ROBO
ARB series
自动滴定分析器-
针对电镀液，显影液，硫酸双氧水等
进行简易、高精度的分析! -
由正确的浓度分析，稳定的药液管理，外型轻巧可设置于任何地方试药量，废液量大幅减少。低成本且环保。
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- 生产性
UP - 质量安定性
UP - 成本削减
- 可对应
各种药业∗
＊可对应各种药业。请咨询。
- 生产性
产品功能
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试药量约减少1/3，废液量约减少1/2
相较以往使用少量试药即可进行分析。此外，分析时间亦缩短，简约且迅速，达到以往产品无法达到的准确滴定分析。
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简约、轻巧、可设置于任何地方
- 仅需连接管线至装置端即可简易地进行测定。
- 尺寸轻巧设置容易。
- 能随时确认内部状态，保养容易。
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自操作画面确认测定结果，容易把握状态
自各装置端的计数器讯号，各补给讯号，警报讯号进行配线，能够符合各个工程的稳定药液管理。
以24回的分析结果显示走势
产品规格
测定规格
| 类别 | 制程名、装置名 | 测定项目 | |
|---|---|---|---|
| 1 | 电镀相关 | 硫酸铜电解电镀 | H2SO4（硫酸）/Cu（铜）/Cl（氯）/Fe3+（3价铁） |
| 2 | 化学铜电镀 | NaOH（氢氧化钠）/HCHO（甲醛）/Cu（铜） | |
| 3 | 化学镍电镀 | Ni（镍）/NaH2PO2（次磷酸钠）/pH | |
| 4 | 电解镍电镀 | Ni（硫酸、氯化镍）/Cl（氯）/H3BO3（硼酸） | |
| 5 | 化学金电镀 | Au（金）/pH | |
| 6 | 电解金电镀① | Au（金）/pH | |
| 7 | 电解金电镀② | Au（金）/Ni（镍）/Pd（钯） | |
| 8 | 电解金电镀③ | Au（金）/Ni（镍）/Pd（钯）/Co（钴） | |
| 9 | 银电镀 | Ag（银）/CN（氰）/pH | |
| 10 | 氰化物电镀 | CN（氰）/酸量（酸） | |
| 11 | 微蚀刻/ 半蚀刻 |
微蚀刻① | Cu（铜）/H2SO4（硫酸）/H2O2（过氧化氢） |
| 12 | 微蚀刻② | Cu（铜）/Na2S2O8（过硫酸钠） | |
| 13 | 微蚀刻③ | Cu（铜）/H8N2O8S2（过硫酸铵） | |
| 14 | 显影各种 | 显影① | Na2CO3（碳酸钠）/K2CO3（碳酸钾）/绿油量（绿油） |
| 15 | 显影② | TMAH（四甲基氢氧化铵）/绿油量（绿油） | |
| 16 | 显影③ | MEK（甲基乙基酮）/TEA（三乙醇胺）/绿油量（绿油） | |
| 17 | 黑化 | 黑化处理 | NaOH（氢氧化钠）/NaClO2（亚氯酸钠）/K2S2O8（过硫酸钾） |
| 18 | 除胶渣（desmear） | 除胶渣（desmear） | NaOH（氢氧化钠）/KMnO4（高锰酸钾） |
| 19 | 脱脂・剥膜 | 脱脂处理，剥膜处理 | NaOH（氢氧化钠）/KOH（氢氧化钾） |
| 20 | 酸洗 | 酸洗各种 | HCl（盐酸）/H2SO4（硫酸）/HNO3（硝酸）/CH3COOH（醋酸） 等 |
| 21 | 其他（清洗/特殊蚀刻） | NaOH+H2O2 | NaOH（氢氧化钠）/H2O2（过氧化氢） |
| NaCO3+H2O2 | NaCO3（碳酸钠）/H2O2（过氧化氢） | ||
| 铝蚀刻① | Al（铝）/HCl（盐酸） | ||
| 铝蚀刻② | Al（铝）/H2SO4（硫酸） | ||
| 晶圆清洗 | NH4（铵）/HF2（氟酸）/H2O2（过氧化氢）/HNO3（硝酸） |
＊上记以外的其他药液亦能够对应
机器规格
| 名称 | AQUA ROBO | 型式 | ARB series | 外形尺寸（mm） | 300（W）×405（H）×200（D） |
|---|---|---|---|---|---|
| 重量 | 6kg | 电源 | AC100V | 用途 | 各种药液的自动滴定分析 |
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